Вакуумные манипуляторы используются для перемещения или позиционирования пластин или предметов в специализированных вакуумных камерах, а также для погрузочно-разгрузочных работ. Они обеспечивают повышенную гибкость, поскольку не используются жесткие связи. Некоторые вакуумные манипуляторы включают в себя монтажные устройства или концевые рабочие органы. Другие включают в себя замки для груза и качающиеся палки. Часто вакуумные манипуляторы используются совместно с вакуумными камерами. Манипуляторы или роботы для обработки пластин представляют собой автоматизированный тип вакуумных манипуляторов для перемещения пластин или подложек в камеры PVD, CVD, плазменного травления или других вакуумных обработок или из них. Чтобы создать вакуумную камеру, вакуумный двигатель или вакуумный двигатель физически откачивает воздух из сосуда до тех пор, пока не будет достигнуто желаемое давление ниже атмосферного. Если в вакуумной камере создается сверхвысокий вакуум, необходимо использовать сверхвысоковакуумный манипулятор и сверхвысоковакуумный двигатель.
1. Уникальная конструкция присоски позволяет объекту подниматься или опускаться по желанию, а также вращаться в любом направлении неподвижного сиденья присоски, чтобы сделать операцию удобной и точной. Конструкция пульта дистанционного управления обеспечивает удобство эксплуатации и безопасность пользователей.
2. В зажиме вакуумной присоски используется импортная присоска, обладающая сильной адсорбционной силой, высокой безопасностью и защитой продукции от повреждений.
3. Вакуумный кран может легко переносить хрупкие, трудно поднимаемые и гладкие предметы, что повышает эффективность, сокращает рабочую силу и снижает затраты предприятия.